1997.4

目次

展望

• 新素材事業における技術展望（383KB）

技術論文・報告

• 高速基板回転型MOCVD装置を用いたGaAs-on-Siウェーハの開発（563KB）
• 酸化膜絶縁耐圧特性の優れたシリコン結晶（359KB）
• SIMOXウェーハ（酸素イオン注入により絶縁分離したシリコンウェーハ）の開発（505KB）
• DC-DCコンバータ用薄型インダクタの開発（415KB）
• 超精密機器用サイアロン（483KB）
• 狭ピッチワイヤボンディング技術（523KB）

技術論文

• ライトサイジング・オープン化システムの鉄鋼プロセスへの適用事例（518KB）
• ガス拡散分離／フローインジェクション－光導波長光路吸収管を用いた鉄鋼中微量窒素定量（361KB）
• 蓄熱式燃焼技術のウォーキングビーム式加熱炉への適用（451KB）
• 超長大吊橋ケーブル架設技術　－明石海峡大橋ケーブル工事－（838KB）